• 11-092020
  • 【行业规范】洁净度等级标准 <<返回

      清洁度等第轨范ISO 14644凭据悬浮粒子浓度这个独一目标来划分清洁室(区)及闭连受控处境中氛围清洁度的等第,而且仅研商粒径限值(低限)正在0.1um~5.0um限度内呈累积散布的粒子群。凭据粒子径,可能划分为旧例粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

      注:因为涉及丈量流程的不确定性,故恳求用不突出三个有用的浓度数字来确定等第水准。